UPC-2000L CO2發泡機

CO2發泡機適用于半導體晶圓切割工序,它是通過滲入CO2,使水的電阻率降價(達到0.2MΩ.cm).從而消除水中的靜電,達到保護wafer的作用。

 

產品優勢:

 

1、精準的電阻率控制能力,可將電阻率控制在±0.1MΩ.cm.

2、增加了電阻率自動調節系統.

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