全自動LED-UV解膠機

UVL400是一款自動Frame上料,解膠,下料的UV解膠設備,該設備兼容8”和12”帶Frame的wafer,且無需治具更換。

 

機臺主要結構:

面光源LED UV照射燈

獨立LED燈供電系統

Cassette自動上下料機構

壓蓋密封充氮氣機構

自動蓋章機構

 

技術優勢:

LED面光源照射,照射均勻性在5%以內

具有充氮氣功能,解膠效果更好

大功率照射,平均7秒左右即可達到300mJ/cm²照射能量

全進口LED燈珠,燈珠設計壽命2萬小時以上,功率均衡穩定,超長壽命(LED燈保修兩年)

 

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